2024
10-30
降低晶圆TTV的磨片加工有哪些方法？
降低晶圆TTV（Total Thickness Variation，总厚度变化）的磨片加工方法主要包括以下几种： 一、采用先进的磨削技术硅片旋转磨削：原理：吸附在工作台上的单晶硅片和杯型金刚石砂轮绕各自轴线旋转，砂轮同时沿轴向连续进给。砂轮...
2024
09-21
单面磷化铟晶片的制备方法有哪些？
单面磷化铟晶片的制备方法主要包括以下步骤：一、基本制备流程研磨：采用研磨液对InP（磷化铟）晶片进行研磨。研磨液通常包含水、Al2O3（氧化铝）和悬浮剂，其中Al2O3的粒径通常在400~600目范围内，研磨液的流量控制在500~800mL...
2024
08-18
比较椭圆偏振仪和光谱反射仪
光谱 椭圆偏振仪 (SE) 和光谱反射仪 (SR) 都是利用分析反射光确定电介质，半导体，和金属薄膜的厚度和 折射率。 两者的主要区别在于椭偏仪测量小角度从 薄膜反射的光, 而光谱反射仪测量从薄膜垂直反射的光。获取反射光谱指南入射光角度的不...
2024
08-18
白光干涉仪作为等距光学 3D 测量技术
现代白光干涉仪采用的干涉效应发生在样品反射光与高精度参考镜反射的光叠加时。测量方法基于麦克森干涉原理，其光学配置（图像）包含有μm 范围内相干长度的光源。准直光束在光束分离器上被分成测量光束和参考光束。测量光束照射样品，参考光束照射一面镜子...
2023
12-11
第三代扫频激光OCT，相比SD-OCT的...
SS-OCT的技术优点成像速度更快：SS-OCT的成像速度通常远高于SD-OCT，能够实现更快速的A-scan（即轴向扫描）。例如，SS-OCT的成像速度可达数百至数千千赫兹（KHz），而SD-OCT的速度一般在20~80千赫兹（KHz）之...