2024
12-30
沟槽结构碳化硅的外延填充方法
一、引言沟槽结构碳化硅的外延填充方法是指通过在碳化硅衬底上形成的沟槽内填充高质量的外延层，以实现器件的电学和热学性能要求。这一过程中，不仅要保证外延层的填充率，还要避免空洞和缺陷的产生，从而确保器件的稳定性和可靠性。二、外延填充方法实验准备...
2024
12-27
优化湿法腐蚀后碳化硅衬底TTV管控
一、湿法腐蚀在碳化硅衬底加工中的作用与挑战湿法腐蚀是碳化硅衬底加工中不可或缺的一步，主要用于去除表面损伤层、调整表面形貌、提高表面光洁度等。然而，湿法腐蚀过程中，由于腐蚀液的选择、腐蚀时间的控制、腐蚀均匀性等因素，往往会导致衬底表面TTV的...
2024
12-26
用于切割碳化硅衬底TTV控制的硅棒安装机...
一、碳化硅衬底TTV控制的重要性碳化硅衬底的TTV是指衬底表面各点厚度最高点与最低点之间的差值。TTV的大小直接影响后续研磨、抛光工序的效率和成本，以及最终产品的质量和性能。因此，在碳化硅衬底的加工过程中，TTV控制是至关重要的一环。二、硅...
2024
12-25
降低碳化硅衬底TTV的磨片加工方法
一、碳化硅衬底的加工流程碳化硅衬底的加工主要包括切割、粗磨、精磨、粗抛和精抛（CMP）等几个关键工序。每一步都对最终产品的TTV有着重要影响。切割：将SiC晶棒沿特定方向切割成薄片。多线砂浆切割是目前常用的切割方式，关键在于确保切割后的晶片...
2024
12-24
碳化硅衬底修边处理后，碳化硅衬底TTV变...
一、碳化硅衬底修边处理的作用与挑战修边处理是碳化硅衬底加工中的一个关键步骤，主要用于去除衬底边缘的毛刺、裂纹和不规则部分，以提高衬底的尺寸精度和边缘质量。然而，修边过程中由于机械应力、热应力以及工艺参数的精确控制难度，往往会导致衬底表面TT...
2024
12-23
激光退火后，碳化硅衬底TTV变化管控
一、激光退火在碳化硅衬底加工中的作用与挑战激光退火是一种先进的热处理技术，通过局部高温作用，能够修复碳化硅衬底中的晶格缺陷，提高晶体质量，优化掺杂元素的分布，从而改善材料的导电性能和表面结构。然而，激光退火过程中，由于激光能量分布的不均匀性...