3D光学轮廓成像系统
“透明胶体基底”的表面PI金手指的台阶测量
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“漫反射吸光结构的绒面基底”,测量电池片表面栅线高宽比
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“透明玻璃基底” PCB铜箔 孔深测量
“透明玻璃基底” PCB铜箔 孔深测量
“高反光表面金属” 磁头磁盘磁头探针的角度测量
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“穿透”表层玻璃开窗,完成底部感光芯片3D扫描
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50纳米重复精度下,8s内可完成40mm的轮廓变形测量
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3D光学轮廓成像系统

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