现代白光干涉仪采用的干涉效应发生在样品反射光与高精度参考镜反射的光叠加时。

测量方法基于麦克森干涉原理，其光学配置（图像）包含有μm 范围内相干长度的光源。准直光束在光束分离器上被分成测量光束和参考光束。测量光束照射样品，参考光束照射一面镜子。镜子和样品上反射的光在分束器处重新合并后聚焦到相机上。

每当测量臂中物点的光路和参考臂中的光路相同时，光源光谱中所有波长发生相长干涉，所讨论物点的相机像素的强度最大。对于具有不同光路的物点，所分配相机像素的强度较低。因此，相机在同一高度记录所有图像点。

具有远心配置的仪器允许您一次性同时并快速地测量大型表面的外形。若需要高横向分辨率，当包括参考臂在内的光学配置集成到透镜中时，显微镜系统就更为合适。

利用白光干涉测量法，高垂直分辨率与视场无关

垂直分辨率与视场无关

使用白光干涉测量法（相干扫描干涉测量法）进行平面测量时，垂直分辨率并不取决于所选的物镜。白光干涉测量法是唯一一种分辨率与视场无关的测量方法。